發(fā)布時間：2023-09-30 21:44:39 人氣：7380
目前，潔凈車間已廣泛應(yīng)用于各個行業(yè)，以防止顆粒污染或其他要求，防止顆粒污染，控制微生物污染環(huán)境。無塵車間目前級別最高的當(dāng)屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chǎn)車間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。潔凈室對于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過程。無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。由于不同行業(yè)的產(chǎn)品特點不同，不同產(chǎn)品的生產(chǎn)過程不同，使用要求也不同，環(huán)境控制的內(nèi)容和指標(biāo)也不一樣。無塵車間的環(huán)境治理內(nèi)容應(yīng)包括：空氣凈化、潔凈建筑、直接接觸水、氣、化工產(chǎn)品及生產(chǎn)設(shè)備、工業(yè)設(shè)備等污染物控制、微振動、噪聲、靜電控制、預(yù)防等。因此，無塵車間的設(shè)計不僅要求室內(nèi)空氣凈化達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級，而且還必須防止建筑材料和無塵車間裝修不當(dāng)造成的污染。一些無塵車間還要求供應(yīng)超純水、超純氣體和高純度化學(xué)品.
1.半導(dǎo)體集成電路所需的空氣潔凈度
集成電路生產(chǎn)環(huán)境對空氣潔凈度的要求主要取決于集成電路的集成。不同工藝中的空氣潔凈度水平取決于可能污染的可能性和設(shè)備的潛在故障。
舉例說明：
例1、一廠前集成電路工藝潔凈廠，無塵車間按加工設(shè)計，生產(chǎn)6英寸硅片，1米集成電路，圖形專用直尺雨1.0 um，控制顆粒尺寸0。....1
潔凈室空氣潔凈度等級要求：
光刻，膠水區(qū)ISO 3
離子注入、蝕刻CVD、外延和擴散的ISO 3級操作區(qū)
離子注入、蝕刻cvd、擴展、擴散等。維修區(qū)5
例2、潔凈廠房前的集成電路、無塵車間設(shè)計生產(chǎn)5英寸硅片、256 K集成電路、圖形專用尺雨2.0um。粒徑控制在0.2um左右。該工藝旨在生產(chǎn)5英寸硅片、256 K集成電路，并控制粒度為0.2μm。
潔凈室空氣潔凈度等級要求：
光刻和調(diào)平區(qū)的ISO 3級
離子注入，蝕刻cvd，外延，擴散等。操作區(qū)域4
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維護領(lǐng)域ISO 6。
2.某些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度
隨著信息技術(shù)的發(fā)展，許多電子產(chǎn)品的性能和質(zhì)量的提高，以及生產(chǎn)過程的小型化，對生產(chǎn)環(huán)境進行一定程度的空氣潔凈和控制供給的要求越來越高。無塵車間工藝生產(chǎn)所需各種高純材料的質(zhì)量。目前國內(nèi)外電子產(chǎn)品沒有統(tǒng)一的供氣方式。根據(jù)《空氣潔凈度等級統(tǒng)一規(guī)定》或《生產(chǎn)環(huán)境控制要求》，各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)根據(jù)產(chǎn)品品種、生產(chǎn)工藝、產(chǎn)品特點，確定設(shè)計建造無塵車間的空氣潔凈度等級。生產(chǎn)工藝設(shè)備、生產(chǎn)用原輔材料及無塵車間實際操作經(jīng)驗。
舉例說明：
例如，在生產(chǎn)薄膜晶體管彩色液晶顯示器的無塵車間中，tft-lcd具有尺寸小、質(zhì)量輕、攜帶方便、功耗低、色彩逼真、容量大、分辨率高等優(yōu)點。
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